土地面積

2,988平米

建築面積

1,859平米

機械数量

19台

環境

室温　　　　　　　20～26度

湿度　　　　　　　60～85％Rh

室内クリーン度　　0.3μ以下

クリーンルーム級　10,000

クリーンブース級　1,000

計測装置

2D測定器、埃測定器、各種測定機器等